近年來，我國產業升級加速，半導體行業、離子注入、真空鍍膜及空間模擬等設備對低溫泵的需求日益增加。為打破國外企業對低溫泵市場及技術的長期壟斷，鵬力超低溫聚集力量、重點攻關，于近日成功研發多口徑低溫泵產品。

自主可控，實現國產化

低溫泵是一種利用低溫冷凝、低溫吸附方式獲得真空環境的容積式真空泵，主要由氦氣壓縮機、GM制冷機及泵頭組成。借助GM制冷機研發生產平臺，鵬力超低溫為各口徑低溫泵配備了具有完全自主知識產權的制冷機，實現了整套低溫泵設備的完全國產化。

產品多樣，差異化定制

針對不同行業的性能需求差異，鵬力超低溫研發了8寸、12寸、16寸三種口徑的低溫泵，其氬氣、氫氣抽速及容積、極限真空、渡越容積等性能指標均達到國外產品同等水平。通過采用變頻降溫技術，可大幅度縮短低溫泵降溫及再生過程所需的時間。以8寸口徑低溫泵為例，它與壓縮機一拖三連接時，完全再生流程時間為100分鐘，與國外尖端產品比肩。所有型號低溫泵產品均配置手操器，提供遠程操控的上位機接口及軟件，可通過中繼控制器對多臺低溫泵、壓縮機進行監控。

未來，鵬力超低溫將對低溫泵產品進行持續升級，不斷提升設備穩定性，并最終通過產品的規?；慨a，為我國真空行業發展貢獻力量！